日本の株価を牽引する企業として、アメリカの金融大手ゴールドマンサックスが選定した「セブンサムライ」。7社のうち4社が半導体製造装置メーカー。そのうちの1社が半導体洗浄装置で世…|BIGLOBEニュース
S CRE ENホールディングスの祖業は、明治元年(1868年)創業の石版印刷会社(石田旭山印刷所)。絵画を印刷するのに、平らな石の表面を加工した石版を使用するが、当時はその石材も加工する機材もドイツからの輸入に頼っていた。(会社は)元々、絵描きだった。江戸時代の絵。この絵をそのまま再現したくて印刷業に入っていった。(同じ絵を何枚も作って売りたいと)海外から印刷技術を導入して石版印刷という技術を入れたがそれが「パターンニング」の技術。(石版の)表面にインクが載りやすい液で絵を描き周りに水を含ませ、水から弾いたインクが先ほど描いた上に載る。「表面改質」表面を改質することで、インクを転写する技術がオリジナル。 半導体 も「フォトリソグラフィ」という技術がよく使われる。光で感光して「パターニング」していく。そこを「エッチング」したり、色んな加工を施したりしているのが 半導体 技術。名神高速道路や東海道新幹線が通る、琵琶湖東岸に位置する滋賀県彦根市。東京ドーム4.
5個分の敷地に5棟からなる工場群。洗浄装置をはじめ、大部分はここで製造されている。最寄り駅の近江鉄道多賀線、その名も「スクリーン駅」。約3000人の従業員の通勤の便宜を考え、駅舎は工場の敷地内に設けられている。「SU3400」はSCREEN最新の枚葉式洗浄装置。すでに世界中の半導体製造ラインで稼働するSCREENの“虎の子”だ。セットされたウエハーはロボットが自動で搬送。ウエハーは水平方向に回転し薬液で洗い、水をすすぎ乾燥。完了後、ロボットがまたウエハーを持って、こちらのフープに戻す。ヒットの理由、その1は「期待に応える圧倒的洗浄能力」だ。特殊な検査装置で見たゴミ。ゴミはインフルエンザウイルスより小さいナノサイズ。ナノメートルは1メートルの10億分の1。このウエハーが(直径)30センチ。これを野球場の大きさにすると、ナノスケールのごみは花粉より小さいごみを取り除くようなもの。(処理スピードは?)「作る前に作る」というコンセプトでシミュレーションして設計を最適化した。ウエハー1枚あたりに必要な薬液を従来比で25%減、水30%減、エネルギーの消費を40%以上削減している。SCREENの20
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